硅晶圓清洗水可采用超純水設(shè)備生產(chǎn)
硅晶圓是半導體制造過程中必不可少的材料之一。它是一種無機非金屬材料,主要由硅元素構(gòu)成,具有良好的穩(wěn)定性。在半導體制造中,硅晶圓通常用作集成電路、太陽能電池和其他電子設(shè)備的基板。硅晶圓的生產(chǎn)需要高精度的加工和嚴格的質(zhì)量控制,以確保晶圓的純度和一致性。
當硅晶圓被污染時,需要對硅晶圓進行清洗,以此保證它作為電子器械生產(chǎn)原料的純凈度。硅晶圓清洗并不是自來水沖洗就可以的,因為它是精密材料,必須要使用超純水清洗才可以保護它不受雜質(zhì)污染。超純水設(shè)備是生產(chǎn)超純水的專用技術(shù)產(chǎn)品,可以穩(wěn)定連續(xù)地生產(chǎn)大批量品質(zhì)安全可靠的超純水。
超純水設(shè)備采用了“雙級反滲透系統(tǒng)+EDI模塊”的技術(shù)工藝。反滲透膜可以有效去除水中含有的鈣、鎂、鉀等金屬離子和其他微量元素,還可以將細菌、微生物有效脫除。EDI系統(tǒng)有效保證了超純水品質(zhì),脫鹽處理過程中不會產(chǎn)生酸堿廢液,不會給后續(xù)工藝帶來處理負擔,省去了酸堿中和處理的步驟,簡化了生產(chǎn)工藝。
超純水設(shè)備內(nèi)部還設(shè)置了獨有的靶向離子交換系統(tǒng),可以將難處理的硼及其他離子定向去除。由于反滲透膜技術(shù)的存在,在超純水生產(chǎn)時可以實現(xiàn)系統(tǒng)的帶電荷運行,離子遷移速度會更快,脫鹽效果會更好。除此之外,超純水設(shè)備還實現(xiàn)了高度自動化運行,操作非常靈活,節(jié)約了人員力量的投資成本。
超純水的水質(zhì)純度高,主要用作工業(yè)生產(chǎn)原料水和精密器械清洗水。采用超純水清洗硅晶圓能有效保證硅晶圓的無菌性和純凈度。超純水設(shè)備可以穩(wěn)定連續(xù)生產(chǎn)超純水,不需要更換樹脂,具有很高的應(yīng)用價值。
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編輯:新奇 技術(shù):加菲
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